主要用于微机械加工技术制造的产品是硅微型压力传感器,主要应用于汽车工业和医疗保健领域。
硅微型压力传感器基主要有电容式和压阻式两个类型。
近几年来,硅微型压力传感器发展迅猛,美国、日本和欧洲均已形成产业。
硅微型压力传感器的特点
(1)体积小,重量轻
(2)组成元件少,无活动部件,可靠性高
(3)造价低,适合大规模生产
硅微型压力传感器的应用
(1)汽车工业
硅微型压力传感器具有高可靠性、低成本的特点,符合汽车工业的要求。
贺德克压力传感器在汽车工业中的应用主要体现在:
①自动刹车系统的压车面压力
②轮胎压力
③气囊压力
④发动机机油压力
⑤注入系统流体压力
⑥进气管道压力
⑦传动系统流体压力
⑧注入燃料压力
(2)医疗保健领域
贺德克压力传感器常用于一些医疗保健机械上,如血压监视器、静脉注射器、呼吸检测仪等。
据了解,每年应用于医疗机械上的压力传感器数量多达500万只。